精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面*高可升溫到*高400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用軍工級別真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針頂尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。三：主要技術要求
1． 加熱溫度：高溫型：高溫～350℃ 低溫型 -60℃～60℃
2． 溫控誤差：±1℃
3． 熱電偶類型：PT100高精度傳感器
4． 溫控表：宇電PID溫控器
5． 程序控溫：1段（可選30段程序控溫表）
6． 加熱功率：≤300W
7． 加熱電源：AC220v
8． 尺寸：230x230x125MM
9． 重量：6kg
10． 腔體材質：304不銹鋼
11． 加工方式：一體式CNC精加工
12． 內腔體尺寸：137X57X21mm 容積165ML
13． 加熱臺尺寸：Φ35mm
14． 觀察窗內徑：Φ45mm
15． 觀察窗材質：高透光石英玻璃
16． 信號輸出頭：SMA母頭 配線 SMA轉BNC 1.5米
17． 電學性能：絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V 漏電流 ≤-10次方安培
18． 抽氣口：KF16
19． 進氣口：6MM卡套
20． 使用正壓：≤O.05MPa
21． 使用負壓：機械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa
22． 可擴展配件：氣體液體注射口、4芯電信號接頭、8芯電信號接頭、SMA905 光纖接口、擴展5KV高壓電極、升級30段控溫儀表
23． 探針規格：探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm
24． 上下移動距離：2.5mm
25． 前后移 |
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