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實驗室用鄭科探小型真空鎢舟熱蒸鍍儀KT-Z1650CVD 熱蒸發(fā)鍍膜儀

詳細說明

    用于真空離子蒸鍍的設備

真空蒸發(fā)鍍膜法(簡稱真空蒸鍍)是在真空條件下,加熱蒸發(fā)容器中待蒸發(fā)的材料,使其原子或分子從表面氣化逸出,形成蒸汽流,入社到襯底或基底表面,凝結成固態(tài)薄膜的方法。







電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機 電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機是鄭州科探儀器設備有限公司生產,臺式設計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用。 通過加熱蒸發(fā)某種物質使其沉積在固體表面







小型蒸鍍儀 鄭州科探KT-Z1650CVD,臺式設計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用。

通過加熱蒸發(fā)某種物質使其沉積在固體表面,稱為熱蒸發(fā)鍍膜,熱蒸發(fā)鍍膜技術是歷史**久的PVD鍍膜技術之一。熱蒸發(fā)鍍膜機一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設備的示意圖。



技術規(guī)格:

- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;

- 基底旋轉:8轉/分鐘;

- 熱蒸發(fā)源:電阻式熱蒸發(fā)舟,交流電源;

- 腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇;

- 泵:前級干泵,分子泵;

- Load Lock樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配);

- 工藝控制:PC/PLC機制的自動控制、數(shù)據處理、工藝記憶儲存;

- 原位監(jiān)控:石英晶振監(jiān)測(QCM),光學監(jiān)測,殘余氣體分析,其他原位監(jiān)測技術或控制;

- 襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;



- 襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉等;



- 保護樣品:配有樣品擋板,可手動或自動開/關擋板,達到及時遮擋樣品效果;

 
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