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鄭科探KT-Z1650PVD 小型離子濺射儀磁控濺射鍍膜儀器

詳細(xì)說明

    該產(chǎn)品為臺式磁控濺射鍍膜機(jī),能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑ˋu),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內(nèi)即可形成具有細(xì)粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊,全自動控制,設(shè)計符合人體工程學(xué),所得結(jié)果一致,可重復(fù)性高。











離子濺射儀在掃描電鏡中應(yīng)用十分廣泛,通過向樣品表面噴鍍金、鉑、鈀及混合靶材等金屬消除不導(dǎo)電樣品的荷電現(xiàn)象,并提高觀測效率,另外可以使用噴碳附件對樣品進(jìn)行蒸碳,實(shí)現(xiàn)不導(dǎo)電樣品的能譜儀元素定性和半定量分析。







磁控濺射優(yōu)點(diǎn)



(1)沉積速率快,沉積效率高,適合工業(yè)生產(chǎn)大規(guī)模應(yīng)用;



(2)基片溫度低,適合塑料等不耐高溫的基材鍍膜;



(3)制備的薄膜純度高、致密性好、薄膜均勻性好、膜基結(jié)合力強(qiáng);



(4)可制備金屬、合金、氧化物等薄膜;















樣品臺更換簡單:標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)樣品臺或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺。標(biāo)準(zhǔn)樣品臺高度可調(diào)、可傾斜、可旋轉(zhuǎn);行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。

 
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