PECVD是借助于輝光放電等方法產生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。通過反應氣態放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點,工藝流程簡單,與傳統CVD系統比較,生長溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。
KT-PE150S 性能參數
型號
KT-PE150S
KT-PE500Z
信號頻率
13.56MHz±0.005%
功率輸出范圍
0-150W
0-500W
功率穩定度
≤5W
反射功率
40W
射頻輸出接口
7/16,female 50 Ω
功率穩定度
≤5W
匹配方式
手動調節匹配
500W自動匹配
耦合方式
電感式耦合
輝光壓力
≤30Pa
供電電壓
50/60Hz 220v±10%
整機效率
≥70%
冷卻方式
強制風冷
支持爐管直徑
φ25-φ80
φ25-φ150
感應區
210mm
整機重量
48KG
整機尺寸:H x W x D(mm)
600 x 600x 110 |