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PlanarHD氣浮平臺

詳細說明

    PlanarHD氣浮平臺

1*大2m/s掃描速度和5g加速度的輸出

2*快的轉向和*小的穩定時間

3主動偏轉控制

4直線光柵或激光干涉儀反饋

5行程1.2mx1.2m



行程≤1200mm

精度±300nm

重復定位精度±50nm

分辨率0.25nm

更多技術內容及應用請咨詢銷售工程師程健186(1288)599

 
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