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ABL9000氣浮平臺

詳細說明

    ABL9000氣浮平臺

1世上*高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學檢測和加工等要求苛刻的場合

2所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)

3行程達1.2米X1.2米

4Y軸雙直線電機驅動

5直線編碼器或激光干涉儀反饋

6主動控制偏轉

行程≤1200mm

精度±0.50um

重復定位精度±0.10um

直線度±0.50um

平面度±0.50um

更多技術內容及應用請咨詢銷售工程師程健186(1288)599

 
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