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AHL9000直線電機平臺

詳細說明

    AHL9000直線電機平臺

1專為晶片檢測,平板顯示加工和光學檢測及制造應用設計

2掃描軸是空氣軸承,步進軸是機械軸承

3行程達1.2米X1.2米

4雙直線電機驅動步進軸

5直線編碼器或激光干涉儀反饋

行程≤350mm

精度±1.0um

重復定位精度±0.20um

直線度±0.60um

平面度±0.60um

更多技術內容及應用請咨詢銷售工程師程健186(1288)599

 
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