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AHL9000直線電機平臺
詳細說明
AHL9000直線電機平臺
1專為晶片檢測,平板顯示加工和光學檢測及制造應用設計
2掃描軸是空氣軸承,步進軸是機械軸承
3行程達1.2米X1.2米
4雙直線電機驅動步進軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.60um
平面度±0.60um
更多技術內容及應用請咨詢銷售工程師程健186(1288)599
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