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ABL3600氣浮平臺

詳細說明

    ABL3600氣浮平臺

1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測獨特應用設計

2雙軸,大孔,開放式結構

3非接觸直線編碼器反饋,精度高

4雙直線電機驅動XY軸

5所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)

行程≤250mm

精度±1um

重復定位精度±0.20um

直線度±0.50um

平面度±1um

更多技術內容及應用請咨詢銷售工程師程健186(1288)599

 
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