ABL1000氣浮平臺(tái)
1專為高性能校準(zhǔn)和裝配應(yīng)用設(shè)計(jì)
2分辨率達(dá)2nm的直線編碼器反饋
3閉環(huán)分辨率可達(dá)1nm(使用A3200控制器)
4全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
5低噪音線性放大器
6全部非接觸設(shè)計(jì)
行程≤150mm
精度±0.20um
重復(fù)定位精度±0.05um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
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ABL3600氣浮平臺(tái)
1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測獨(dú)特應(yīng)用設(shè)計(jì)
2雙軸,大孔,開放式結(jié)構(gòu)
3非接觸直線編碼器反饋,精度高
4雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)XY軸
5所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
行程≤250mm
精度±1um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.50um
平面度±1um
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ABL8000氣浮平臺(tái)
1專為有效負(fù)載大,負(fù)載重心偏離機(jī)架中心線的應(yīng)用設(shè)計(jì)
2十字交叉結(jié)構(gòu),剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性極好
3所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
4行程達(dá)1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的XY子系統(tǒng)
行程≤1000mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.40um
平面度±0.40um
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ABL9000氣浮平臺(tái)
1世上*高性能的氣浮平臺(tái),適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
3行程達(dá)1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動(dòng)控制偏轉(zhuǎn)
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50um
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AHL9000直線電機(jī)平臺(tái)
1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學(xué)檢測及制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2掃描軸是空氣軸承，步進(jìn)軸是機(jī)械軸承
3行程達(dá)1.2米X1.2米
4雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)步進(jìn)軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.60um
平面度±0.60um
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ABG10000氣浮平臺(tái)
1氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)超平滑運(yùn)動(dòng)
2所有軸都預(yù)加載荷
3下面軸采用雙無刷直線伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)
3行程達(dá)1mx1m
4非接觸直線編碼器(光柵)
5可選Z軸,隔振,機(jī)械底座和控制箱
6適 |
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