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ABL1000氣浮平臺
詳細說明
ABL1000氣浮平臺
1專為高性能校準和裝配應用設計
2分辨率達2nm的直線編碼器反饋
3閉環分辨率可達1nm(使用A3200控制器)
4全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
5低噪音線性放大器
6全部非接觸設計
行程≤150mm
精度±0.20um
重復定位精度±0.05um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
更多技術內容及應用請咨詢銷售工程師程健186(1288)599
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