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產品目錄

ABL1000氣浮平臺

詳細說明

    ABL1000氣浮平臺

1專為高性能校準和裝配應用設計

2分辨率達2nm的直線編碼器反饋

3閉環分辨率可達1nm(使用A3200控制器)

4全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)

5低噪音線性放大器

6全部非接觸設計

行程≤150mm

精度±0.20um

重復定位精度±0.05um

直線度±0.25um

平面度±0.25um

更多技術內容及應用請咨詢銷售工程師程健186(1288)599

 
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