一、設(shè)備結(jié)構(gòu):
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圓形6寸片
3、工藝布局:滿足客戶工藝要求
4、外形:主機(jī)1臺，主機(jī)架為臥式兩管。
5、自動化程度:工控機(jī)控制系統(tǒng)自動控制工藝流程
6、送取片方式:手動進(jìn)出舟。
二、主要技術(shù)參數(shù):
1、加熱爐管有效口徑:滿足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作溫度范圍:上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒溫區(qū)長度及精度:600mm，
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控機(jī)統(tǒng)一管理工藝
5、氣路設(shè)置:每管兩路氣體:氮氣100L/min.氬氣100L/min。均采用MFC自動控制流量大小。
青島晨立電子有限公司主要產(chǎn)品：高低溫擴(kuò)散爐、實驗爐、共晶爐、燒結(jié)爐、加磁爐、高 精 度智能溫度控制系統(tǒng)和替代進(jìn)口的擴(kuò)散爐爐體等，同時承接各種微電子生產(chǎn)線，進(jìn)口半導(dǎo)體專 用設(shè)備的翻新升級改造及各大專院校科研院所的非標(biāo)研發(fā)定制工作。 |
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