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臥式6寸兩管退火爐

詳細說明

    臥式6寸兩管退火爐供大規模集成電路、MEMS 生產線用做6"硅片的合金、氧化、退火、燒結、擴散等工藝使用。同時也可下沉工藝，完成4寸wafer 的相應工藝。

一、設備結構:

1、操作方式:左(右)手操作方式

2、硅片尺寸:圓形6寸片

3、工藝布局:滿足客戶工藝要求

4、自動化程度:工控機控制系統自動控制工藝流程

5、送取片方式:手動進出舟。

6、外形:主機1臺，主機架為臥式兩管。

二、主要技術參數:

1、加熱爐管有效口徑:滿足6英寸硅片�？上蛳录嫒�5寸和4寸硅片。

2、工作溫度范圍:上管:600~1400℃

          下管:200~500℃

3、恒溫區長度及精度:600mm，

    上管:800-1400℃.±0.2℃/24h

    下管:200-500℃.±0.2℃/24h

4、控制方式:由工控機統一管理工藝

5、氣路設置:每管兩路氣體:氮氣100L/min.氬氣100L/min。均采用MFC自動控制流量大小。

 
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