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供應(yīng)專業(yè)定制各種程控高低溫?cái)U(kuò)散爐

詳細(xì)說明

    程控高低溫?cái)U(kuò)散爐

外型形式:臥式1—4管結(jié)構(gòu) 程控高低溫 擴(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件行業(yè)、大功率集成電路等行業(yè),對(duì)所加工硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。



技術(shù)指標(biāo):

可處理硅片尺寸:2—8英寸

工作溫度:200℃—1300℃

恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃

單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性:≤±1.5℃/24h

溫度斜變:可控升溫速率20℃/min,

可控降溫速率:5℃/min

送片裝置:全自動(dòng)懸臂推拉舟、拉桿是推拉舟、手動(dòng)推拉

氣路系統(tǒng):1—5路工藝氣體/管

氣體控制:全自動(dòng)MFC、手動(dòng)浮子流量計(jì)

控制方式:工控機(jī)、觸摸屏

 
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