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管式退火爐 真空退火爐

詳細說明

    退火爐





主要技術參數



◆工藝管數量:可根據客戶需求制作為1-4管



◆工藝管口徑:Φ90-360mm(3~12英寸)



◆結構型式:臥式熱壁型或立式



◆工作溫度范圍:400~1280℃



◆氣體流量設定精度:±1%F.S



◆氣路系統氣密性: 1×10-7pa.m3/s



◆恒溫區長度及精度±0.5℃/1080mm



◆工藝均勻性:≤±5%(30~60歐姆)



◆超凈工作臺:凈化等級:100級(萬級廠房)



噪音:≤62dB(A)



震動:≤3μm



◆控制方式: 工業微機控制



◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制



退火爐用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝,其關鍵部件全部采用進口部件,仿國外熱處理制造技術,已經被中科院、國內各大院校、國內多家廠家選為長期供貨商,可根據客戶不同需求定制,廠家直接供貨。



我公司可根據客戶需求個性化定制實驗室科研退火爐、管式退火爐,管式真空退火爐、管式擴散爐、管式燒結爐、管式合金爐等高溫電爐,廠家直接供貨,歡迎廣大用戶來電咨詢。

 
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