倒置磁控管/倒置磁控管皮拉尼真空計
Gemini MPG55x / MAG55x
INFICON Gemini™倒置磁控管真空計是所有真空測量應用的動力源泉。Gemini MPG50x將兩項傳感器技術(shù)整合在一個小裝置中，測量范圍從大氣壓至1 × 10-9毫巴；而 Gemini MAG50x是一個純冷陰極傳感器系統(tǒng)(不含皮拉尼元件)，測量范圍從1 × 10-2毫巴至1 × 10-9毫巴。獲得專利的超低雜散磁場設(shè)計為全新的應用領(lǐng)域開啟了大門。獨特的可互換式雙室傳感器單元不用清洗并減少了維護，使Gemini成為同類產(chǎn)品中極其堅固耐用的經(jīng)濟型真空計。
MAG和MPG Gemini現(xiàn)在提供EtherCAT現(xiàn)場總線和設(shè)定點MAG55x和MPG55x。
對于腐蝕性應用，我們建議使用陶瓷涂層版本MxG5x4。傳感頭內(nèi)部的饋入裝置和皮拉尼采用全陶瓷涂層，增強了耐腐蝕性。
優(yōu)勢
•在惡劣環(huán)境下，使用壽命長
•可靠的快速點火
•低雜散磁場
•可選測量電流
•快速維護 — 可更換電離室
•耐腐蝕饋入裝置和傳感器元件
•EtherCAT和RS232/RS485數(shù)字接口
•緊湊尺寸，易于集成
•2個繼電器設(shè)定點(MxG55x)
應用范圍
•基礎(chǔ)壓力監(jiān)測和控制，在蒸發(fā)和濺射鍍膜應用中，測量范圍從大氣壓到高真空。
•一般真空測量 — 工業(yè)爐、建筑玻璃、半導體、生產(chǎn)實驗室。
•分析和研發(fā)應用 — 質(zhì)譜分析、電子顯微鏡、眼科、光學、醫(yī)療和高能物理。 |
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