APC200壓力&流量控制器APC200-0O-O-I-N
APC200壓流控制器基本上是為電容壓力計提供一個電源(±15VDC)，與之相應的壓力信號連接顯示器，同時使用PID排氣節流閥節流閥或Self-Tuning功能將壓力控制連接起來的系統，其中,使用“Self-Tuning”功能,可根據流入室中氣體的量、泵抽速度、閥位中的真空壓力變化,以及其他重要的參數感知壓力控制系數。使用此功能作壓力控制時,可以更快地達到所需的壓力。內置2個過程限制繼電器,可幫助用戶集成在裝備中。
特點
至多可以連接4個MFC的PCB卡，每張PCB由2通道(2個MFC)組成。
標準的面板安裝,通訊方式I/O或RS-232遠程(RS-485選項)，實現所有遠程控制都是可能的。
規格
閥門操作 ATV1000排氣節流閥，MKS型653和253排氣節流閥及其他
壓力輸入信號 標準0-10Vdc
輸入功率要求 90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz
設置點
可編程的
外部模擬 總共5個，可在任何組合中編程，用于壓力或閥位置
（可從前面板調節或從前面板旋轉RS232設定、TTL或RS232）
0-10VDC
控制器重復性 ±0.1% F.S
環境運行溫度 15℃ - 45℃
輸出功率 ±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp
模擬量輸出信號 0 - 10vdc用于0-100%閥門位置,0 - 10vdc用于1-100%滿量程壓力
尺寸 1/2機架安裝:88mm 寬 x 241mm 長 x 225 高
顯示 LCD(壓力、位置和外部設定點讀數)
顯示單位 Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 標準
PID控制 標準
遠程零點 標準
接口 前面板設置，模擬，TTL和RS232，（RS-485選項）
繼電器輸出 2個過程繼電器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 電阻
遠程控制
（打開、關閉、保持） 標準
位置控制能力 標準 |
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