Inficon CDG100D電容膜片式真空計(jì) 3CD1-95E-230B
INFICON SKY CDG100D 真空計(jì)是用于高精度總壓強(qiáng)測(cè)量和控制的*佳選擇. CDG100D真空計(jì)是在 100°C 下溫度控制的, 在要求高的半導(dǎo)體和等離子過程中具有卓越的性能.可供應(yīng)的真空計(jì)包括全量程范圍從 100 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法蘭型號(hào)和現(xiàn)場(chǎng)總線接口和提供線性 0至 10 伏, 與氣體類型無關(guān)的壓強(qiáng)訊號(hào). INFICON 電容真空計(jì)采用抗腐蝕的超純氧化鋁陶瓷膜片. 陶瓷傳感器的優(yōu)勢(shì)是更好的訊號(hào)穩(wěn)定性, 快速地從大氣壓恢復(fù), 短的預(yù)熱時(shí)間和超長(zhǎng)的使用壽命. INFICON CDG 是高質(zhì)量, 高效益的壓強(qiáng)傳感器用于高要求的半導(dǎo)體,等離子和真空應(yīng)用.
優(yōu)勢(shì)：
擁有成本低, 預(yù)熱快 50%, 能效高,低功耗
易集成,規(guī)格齊全的全量程, 法蘭和接口, 標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)有兩個(gè)設(shè)點(diǎn)
簡(jiǎn)易的一鍵按鈕或運(yùn)距訊號(hào)調(diào)零指令,零點(diǎn)偏移可調(diào)整
診斷口用于快速服務(wù)和維護(hù)
兩年保用期,帶有先進(jìn)的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)的長(zhǎng)使用壽命
由于卓越的訊號(hào)穩(wěn)定性和再現(xiàn)性, 即使在嚴(yán)酷的等離子
應(yīng)用中也無長(zhǎng)期再校準(zhǔn)的需要
兼容性和標(biāo)準(zhǔn): CE, EN, UL, SEMI, RoHS
用途：
刻蝕, PVD, CVD 和其它半導(dǎo)體過程
化學(xué)和腐蝕性的高溫過程
一般薄膜和真空過程要求的真空計(jì)保護(hù)
訂貨號(hào)：
Inficon CDG100D電容膜片式真空計(jì) 3CD1-95E-230 |
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