ACM200 電容薄膜壓力計,通常安裝在真空腔體或管道上,讀取實時壓力,±15VDC的電源和0 - 10VDC信號輸出的,廣泛用于半導(dǎo)體工程和真空工業(yè)設(shè)備。
特點
直接測量方式測量壓力
無關(guān)氣體組分影響
可應(yīng)用于腐蝕性氣體環(huán)境,適合于各類制程應(yīng)用
可搭配Atovac儀表,實時顯示
測量范圍從10E-4Torr至1000TOrr,覆蓋大多數(shù)制程壓力范圍
規(guī)格
壓力范圍(滿量程) 1、2、10、100、1000
*低壓力 0.01%滿量程
精度 ±0.25%讀數(shù)
可選:±0.15%讀數(shù)
溫度效應(yīng)
零點
跨度
0.002% 滿量程/°C
0.02% 讀數(shù)/°C
工作環(huán)境溫度 0℃至50℃
暴露于氣體中的材料 鉻鎳鐵合金
泄漏率 1x10-8sec/sec He 
*大壓力 310Kpa
電源要求 ±15VDC (±5%) @ 35 mA
輸出信號 0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load
法蘭 8 VCR, NW16K |