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國內廠家銷售半導體行業用高純電子級亞磷酸三甲酯TMPI

詳細說明

    電子級亞磷酸三甲酯TMPI

一、分子式: P(OCH3)3

二、分子量: 124.08

三、理化性質

無色液體,有刺激性臭味,熔點-78℃,沸點111~112℃,密度1.05g/ml。易燃,不溶于水。遇水緩慢分解為磷酸和甲醇。

四、用途

主要用于晶圓制造過程中沉積生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)的磷源。是半導體、微機電系統(MEMS)制造所需的重要電子化學品。

 
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