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深圳市旺達(dá)康科技有限公司
| 聯(lián)系人:宋華
先生 (業(yè)務(wù)) |
| 電 話:0755-82382356 |
手 機(jī):15919406738  |
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| 國(guó)內(nèi)廠家銷售半導(dǎo)體行業(yè)用高純電子級(jí)亞磷酸三甲酯TMPI |
電子級(jí)亞磷酸三甲酯TMPI
一、分子式: P(OCH3)3
二、分子量: 124.08
三、理化性質(zhì)
無色液體,有刺激性臭味,熔點(diǎn)-78℃,沸點(diǎn)111~112℃,密度1.05g/ml。易燃,不溶于水。遇水緩慢分解為磷酸和甲醇。
四、用途
主要用于晶圓制造過程中沉積生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)的磷源。是半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造所需的重要電子化學(xué)品。 |
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| 深圳市旺達(dá)康科技有限公司 |
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