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深圳市旺達(dá)康科技有限公司
聯(lián)系人:宋華
先生 (業(yè)務(wù)) |
電 話:0755-82382356 |
手 機(jī):15919406738  |
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國(guó)內(nèi)廠家銷售半導(dǎo)體行業(yè)用高純電子級(jí)磷酸三甲酯TMP |
電子級(jí)磷酸三甲酯TMPO
一、分子式:PO(OCH3)3
二、分子量:140.07
三、理化性質(zhì)
無(wú)色液體,有水果味,熔點(diǎn)-46℃,沸點(diǎn)197℃,密度1.215g/ml。易燃,易溶于水和乙醚,難溶于乙醇。
四、用途
主要用于晶圓制造過(guò)程中沉積生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半導(dǎo)體、分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造所需的重要電子化學(xué)品。 |
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深圳市旺達(dá)康科技有限公司 |
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