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國內廠家銷售半導體行業用高純電子級三氯氧磷

詳細說明

    電子級三氯氧磷

一、分子式:POCl3

二、分子量:153.35

三、理化性質:

無色透明揮發性液體,具有強烈的刺激性氣味。易水解于潮濕的空氣中,生成磷酸和鹽酸。熔點為1.25℃,沸點為102℃,相對密度為1.675。蒸發熱33.7kJ/mol。接近300℃時,仍很穩定。遇到大量水時會發生爆炸。有毒性和腐蝕性。

四、用途:

主要用于芯片的N型摻雜,是制作集成電路、太陽能電池、光纖預制棒、分離器件等的液態磷源,是芯片制程中必須的電子化學品,同時電子級三氯氧磷也是制作高純磷酸酯的原料。

 
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