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國內廠家銷售半導體行業用高純電子級正硅酸四乙酯TEOS

詳細說明

    電子級正硅酸四乙酯TEOS

名稱 正硅酸四乙酯(TEOS)

化學式 C8H20O4Si

相對分子量 208.33

CAS號 78-10-4

理化性質 無色透明液體,熔點-77℃,沸點168.5℃,密度0.9346g/ml。在空氣中較穩定;微溶于水,在純水中水解緩慢;在酸或堿的存在下能加速水解作用。

主要用途

主要用于晶圓制造過程中的化學氣相沉積(CVD)制程,用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半導體、分立器件、微機電系統(MEMS)制造所需的電子化學品。

 
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