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葉轉換紅外線光譜分析儀(FTIR)檢測

詳細說明

    葉轉換紅外線光譜分析儀(FTIR)檢測

FTIR提供關于化學鍵和分子結構的詳細信息,使它有益于有機材料和某些無機材料的分析。化學鍵以特有的頻率振動,當接觸到紅外線輻射時,它們以與振動模式相匹配的頻率吸收紅外線。作為頻率的函數測量輻射吸收得到用于識別官能團和化合物的光譜。

FTIR應用:

 污染物分析中識別有機化合物的分子結構

 識別有機顆粒、粉末、薄膜及液體(材料識別)

 量化硅中氧和氫以及氮化硅晶圓中的氫 (Si-H vs. N-H)

 污染物分析(析取、除過氣的產品,殘余物)



FRIR分析優點:

 能識別有機官能團,通常是具體的有機化合物

 具有識別化合物的豐富光譜庫

 測試環境非真空,可測試易揮發物質

 典型的非破壞性

 最小分析面積~15 微米

​

FRIR分析局限性:

 有限的表面靈敏度(一般取樣量~0.8 μm )

 最小分析面積~15 微米

 有限的無機物信息

 一般非定量(需要標準)

 
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