表面形貌及微區成分分析
利用掃描電子顯微鏡(SEM)+X射線能譜儀(EDS)可對各種固體表面進行形貌觀察,*大放大倍數可達30萬倍,同時利用特征X射線可對微區的成分進行定性半定量分析。在金屬、半導體、陶瓷、催化劑、礦物、玻璃、PCB板等相關表面形貌及微區成分分析方面得到廣泛應用。同時在零件斷口分析、表面異物分析等產品失效方面也發揮了關鍵性的作用。
SEM+EDS 特點
u SEM的二次電子成像分辨率約3nm
u EDS成分分析的元素范圍Be(5)~U(92)
u EDS分析深度約1μm
u 元素檢測下限約1%
u 空間分辨率約1μm
測試項目:? 固體材料表面的形貌觀察
? 金屬零部件斷口形貌觀察
? 粉末、微粒樣品形態和粒度的測定
? 鍍層厚度測量
? 固體材料表面、截面及微區成分
? 表面異物,銹蝕,斑點分析
? 樣品成分的線分布和面分布
? 錫須觀察和測量
適用產品和領域:
金屬、陶瓷、催化劑、礦物、玻璃、PCB板;滲氮、滲碳件,噴涂件, 薄膜件;金相切片樣,表面異物,金屬斷口;粉末材料,生物醫學材料等 |