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PFB壓電物鏡聚焦臺-上海納動納米位移技術有限公司

詳細說明

    產品描述

PFB-050U/100U是重載設計直接驅動型的壓電陶瓷物鏡聚焦平臺,是專門用于顯微鏡物鏡的精確定位設計。典型應用為半導體晶圓切割領域,它設計行程為50/100μm的兩種規格。便于用戶選擇適合的產品。PFB-050U/100U的應用范圍包括:Z向移動,3D成像,自動對焦或與我們提供的XY納米位移臺設備一起使用。PFC-050U/100U本體由鋁,鋼和黃銅制成,閉環配有穩定性的傳感器采用全閉環配置。

黃銅安裝環可以輕松更換,以使每個物鏡都適合PFC納米定位器。可用的標準產品包括RMS、M25、M26、M27、M32、M38等,也可以按需定制。本系列產品可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。

零間隙,高精度柔性鉸鏈導向系統可實現更好的聚焦穩定性。它們的剛性可實現高負載能力,可帶動較大物鏡的高動態定位和掃描。

可選的應變測量反饋閉環操作版本,采用高分辨率應變測量位置傳感器,具有高精度和可重復的運動,也補償壓電陶瓷的蠕變特性,閉環裝置可以用于開環或閉環控制。

產品特性

—位移:50μm/100μm(閉環)

—螺紋尺寸:W0.8x1 / 36“至M38x0.75

—適用于質量達1Kg專用物鏡

—高重載型應用設計

—高動態應用

選配功能

—可定制轉接裝置及固定方式

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度

—可選配閉環(SGS) 位置反饋系

—可選擇定制其它螺紋規格

應用領域

—半導體晶元切割、半導體測試、生物技術

—自動聚焦系統、測量技術

—干涉測量、篩選

—3D成像、共聚焦顯微鏡

—光學圓盤顯微鏡、超分辨率顯微鏡

 
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