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上海納動納米位移技術有限公司
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| X軸壓電陶瓷納米臺- |
產品描述
PS1H60-024U是一款多功能的緊湊型納米定位器，可以配置以適應多種應用�？梢詫⒏鱾�單軸平臺組合起來以形成多軸系統。通過轉接轉可組成XY二維運動平臺。方便用戶升級與維護。PS1H60-024U壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅動源并采用直驅機構的一維運動的壓電位移平臺，無摩擦、高精度柔性鉸鏈導向系統，可達毫秒級響應、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進行閉環精密定位控制。本產品的運動范圍為30μm（開環）。其他行程可以根據要求進行定制。PS1H60-024U本體由鋁材質構成，用戶可選擇殷鋼或鈦制成，并可以進行定制以適應獨特的要求，但是參數表中給出的為鋁材質條件下測得數據。
壓電平臺負載能力高達8kg，該產品非常適于定位應用，如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應用中的樣品定位等，已廣泛應用于干涉、顯微、精密加工等領域。
壓電平臺固定是通過移動面和底板上的螺紋孔實現的。若要安裝到具有標準柵格的光學平臺或其他組件上，請使用轉接板轉接。在緊固過程中，應避免過大的彎矩載荷和作用在移動面與外殼之間的側向力，這些外力可能會損壞位移臺。
產品特性
—高速直接驅動
—大承載8Kg
—閉環控制
—可堆疊XY運動
選配功能
—可定制轉接工裝
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(SGS) 位置反饋系
—可組維、可定制其他行程
應用領域
—半導體技術、精密加工
—干涉儀、測量技術
—光纖定位、高速鏡頭聚焦
—測試程序、質量保證 |
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