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產(chǎn)品目錄

Z軸壓電陶瓷掃描臺-上海納動納米位移技術(shù)有限公司

詳細(xì)說明

    產(chǎn)品描述

PKVL70-080U/160U/240U為定制型產(chǎn)品,專為有空間限制應(yīng)用而設(shè)計的,超緊湊尺寸、超低外形結(jié)構(gòu),便于安裝集成在設(shè)備中。多種規(guī)格產(chǎn)品行程便于用戶在不同應(yīng)用場合進行選擇對應(yīng)產(chǎn)品。

壓電掃描臺移動面可放置物鏡進行Z軸物鏡聚焦操作,可提高圖像分辨率。移動面可以預(yù)定制多種安裝接口尺寸,方便各種轉(zhuǎn)接工裝的集成。

顯微鏡中的探頭對準(zhǔn)通常需要一個開放的中心空間(例如,用于通過光),針對此類應(yīng)用開發(fā)了該系列掃描臺,該平臺具有35 mm的中心孔。該壓電系統(tǒng)非常適合于動態(tài)應(yīng)用,可以使用集成的位置傳感測量系統(tǒng)來克服光刻的影響。

壓電掃描臺可輕松與其他機械定位系統(tǒng)結(jié)合使用,非常適合從光學(xué)研究到OEM系統(tǒng)的各種應(yīng)用。

PKVL70-080U/160U/240U壓電陶瓷掃描臺可選擇位置反饋閉環(huán)控制的版本,閉環(huán)版本品無遲滯和蠕變特性具有更高的位置線性精度和重復(fù)定位精度。

產(chǎn)品特性

—Z位移:80μm/160μm/240μm(閉環(huán))

—中孔尺寸:Ø35mm

—*大承載能力:800g

—緊湊型設(shè)計

—高精度柔性導(dǎo)向

選配功能

—可定制轉(zhuǎn)接裝置及中心孔徑大小

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度

—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系

—可選擇XYZ軸版本(80μm)

應(yīng)用領(lǐng)域

—掃描顯微鏡

—超分辨率顯微鏡

—掩模、晶圓定位

—干涉測量、測量技術(shù)

—顯微操縱

 
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