等離子光氧一體機工作原理：
當廢氣進入等離子光氧一體機內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。然后部分廢氣再通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無味氣體。采用C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子物質，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 可地殺滅，將物質破壞且改變成為低分子物質。在C波段激光刺激催化劑涂層產生活性，催化氧化作用。在分解過程中產生高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有的效果。O3也為強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，達到脫臭及殺的目的。
等離子是由電子、離子、自由基和中性離子流組成，工作狀態呈流星雨狀導電性流體，屬固態、液態、氣態之外第四種物質形態。等離子發生器整體保持電中性。按離子的溫度，等離子分為熱平衡等離子體、非平衡等離子體和低溫等離子體。
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