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羥基磷灰石(Ca2O5P)靶材 磁控濺射靶材 電子束鍍膜蒸發料

詳細說明

    羥基磷灰石(Ca2O5P)靶材 磁控濺射靶材 電子束鍍膜蒸發料

【參數說明】

支持靶材定制,請提供靶材產品的元素、比例(重量比或原子比)、規格,我們會盡快為您報價!! 

【產品介紹】

羥基磷灰石,又稱羥磷灰石,是鈣磷灰石(Ca5(PO4)3(OH))的自然礦物化。但是經常被寫成(Ca10(PO4)6(OH)2)的形式以突出它是由兩部分組成的。

中文名 羥基磷灰石 熔點 1650°C

化學式 Ca2O5P Ca/P 1.67

分子量 1004 比重 3.16g/cm



【關于我們】

服務項目:靶材成份比例、規格、純度均可按需定制。科研單位貨到付款,質量保證,售后無憂!

產品附件:發貨時產品附帶裝箱單/質檢單/產品為真空包裝

適用儀器:多種型號磁控濺射、熱蒸發、電子束蒸發設備 

質量控制:嚴格控制生產工藝,采用輝光放電質譜法GDMS或ICP光譜法等多種檢測手段,分析雜質元素含量保證材料的高純度與細小晶粒度;可提供質檢報告。 

加工流程:熔煉→提純→鍛造→機加工→檢測→包裝出庫

陶瓷化合物靶材本身質脆且導熱性差,連續長時間濺射易發生靶裂情況,綁定背靶后,可提高化合物靶材的導熱性能,提高靶材的使用壽命。我們強烈建議您,選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶!

我公司采用高純銦作為焊料,銦焊厚度約為0.2mm,高純無氧銅作為背靶。

注 :高純銦的熔點約為156℃,靶材工作溫度超過熔點會導致銦熔化!綁定背靶不影響靶材的正常使用!

建議:陶瓷脆性靶材、燒結靶材,高功率下濺射易碎,建議濺射功率不超過3W/cm2。

我公司主營金屬靶材、陶瓷靶材、合金靶材,歡迎您的垂詢。

 
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