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產(chǎn)品目錄

氮化鋁(AlN)靶材 磁控濺射靶材 電子束鍍膜蒸發(fā)料

詳細說明

    氮化鋁(AlN)靶材 磁控濺射靶材 電子束鍍膜蒸發(fā)料

【參數(shù)說明】

支持靶材定制,請?zhí)峁┌胁漠a(chǎn)品的元素、比例(重量比或原子比)、規(guī)格,我們會盡快為您報價。 

【產(chǎn)品介紹】

氮化鋁是共價鍵化合物,屬于六方晶系,鉛鋅礦型的晶體結(jié)構(gòu),呈白色或灰白色。

中文名 氮化鋁 CAS登錄號 24304-00-5

化學(xué)式 AlN EINECS登錄號 246-140-8

分子量 40.9882 密度 3.235g/cm3



【關(guān)于我們】

服務(wù)項目:靶材成份比例、規(guī)格、純度均可按需定制?蒲袉挝回浀礁犊,質(zhì)量保證,售后無憂!

產(chǎn)品附件:發(fā)貨時產(chǎn)品附帶裝箱單/質(zhì)檢單/產(chǎn)品為真空包裝

適用儀器:多種型號磁控濺射、熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)設(shè)備 

質(zhì)量控制:嚴格控制生產(chǎn)工藝,采用輝光放電質(zhì)譜法GDMS或ICP光譜法等多種檢測手段,分析雜質(zhì)元素含量保證材料的高純度與細小晶粒度;可提供質(zhì)檢報告。 

加工流程:熔煉→提純→鍛造→機加工→檢測→包裝出庫

陶瓷化合物靶材本身質(zhì)脆且導(dǎo)熱性差,連續(xù)長時間濺射易發(fā)生靶裂情況,綁定背靶后,可提高化合物靶材的導(dǎo)熱性能,提高靶材的使用壽命。我們強烈建議您,選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶!

我公司采用高純銦作為焊料,銦焊厚度約為0.2mm,高純無氧銅作為背靶。

注 :高純銦的熔點約為156℃,靶材工作溫度超過熔點會導(dǎo)致銦熔化!綁定背靶不影響靶材的正常使用!

建議:陶瓷脆性靶材、燒結(jié)靶材,高功率下濺射易碎,建議濺射功率不超過3W/cm2。

我公司主營金屬靶材、陶瓷靶材、合金靶材,歡迎您的垂詢。

 
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