五氧化二鉭
化學(xué)符號:Ta2O5
外 觀:無色
分 子 量:441.89
密 度:8.74g/cm3
熔 點(diǎn):1800℃
線膨脹系數(shù):16.4×10-7/℃(30-630℃)
折 射 率(波長/nm):2.1(550)
透明波段(nm):350-10000
在10-4Torr的蒸發(fā)溫度:1920℃
坩 堝:W
線 圈:Ta:W
相對介電常數(shù):25
損耗因數(shù):0.01
頻 率/kHz:1.0
擊穿電壓/V•cm-1:6×106
沉積技術(shù):陽極氧化
薄膜的機(jī)械和化學(xué)性質(zhì):稍微分解10-3TorrO2內(nèi)蒸發(fā)
應(yīng) 用:濾光片、絕緣膜、高反膜
Ta2O5分析報(bào)告:
Si Fe Mn Mo Cr Ni
13ppm 5ppm 5ppm <5ppm 3ppm 3ppm
Al Nb Cu Ti
<5ppm 10ppm 3ppm <10ppm |