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產品目錄

真空等離子設備 真空等離子活化 真空等離子設備廠家

詳細說明

    二、產品介紹

2.1 產品概述

MKS-VAC200 真空等離子清洗機(Plasma cleaner),氣體通過激勵電源離化成等離子態,等離子體作用于產品表面,清洗產品表面污染物,提高表面活性,增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環保、高效、穩定的表面處理方式。



2.2 產品優勢

產品放置治具靈活多變,可適應不規則的產品。

水平電極設計,可滿足軟性產品處理需求。

低耗能、耗氣產品。

便捷的收放板方式。

真空系統集成,占地面積小。

合理的等離子反應空間,使處理更均勻。

集成的控制系統設計,使操作更方便。

2.4 產品規格

真空等離子主機

設備尺寸 1300x1350x1900mm

重量 500Kg 800KG

需求電源 AC380V,50/60Hz,5線,25A(總空開選型為C型以上)

等離子發生器規格

電源功率 射頻 中頻

0~1000W 0-2000W

電源頻率 13.56MHz 40 KHz

真空系統

真空泵 鮑斯雙級旋片泵(油泵):90m3/h+羅次泵

真空管路 全不銹鋼管路,以及高強度真空波紋管

材質 鋁合金

厚度 25mm

密封性 軍工級焊接密封

腔體內部尺寸 600×600×600mm(寬×高×深)

電極板有效尺寸 550×560mm(寬×深)

可用空間間距 28mm

電極板布置方式 水平電極板

工作托盤 標配一套,材質可選配(鋁材、鋼絲網)

工作空間 9層 9層

工藝氣體

流量范圍 0~300SCCM

工藝氣體氣路 標配兩路,可定制。工藝氣體管路為鐵氟龍材質

控制系統

系統控制 PLC

交互方式 7寸觸控屏幕

 
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