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產(chǎn)品目錄

真空等離子設(shè)備 真空等離子活化 真空等離子設(shè)備廠家

詳細(xì)說明

    二、產(chǎn)品介紹

2.1 產(chǎn)品概述

MKS-VAC200 真空等離子清洗機(jī)(Plasma cleaner),氣體通過激勵(lì)電源離化成等離子態(tài),等離子體作用于產(chǎn)品表面,清洗產(chǎn)品表面污染物,提高表面活性,增強(qiáng)附著性能。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保、高效、穩(wěn)定的表面處理方式。



2.2 產(chǎn)品優(yōu)勢

產(chǎn)品放置治具靈活多變,可適應(yīng)不規(guī)則的產(chǎn)品。

水平電極設(shè)計(jì),可滿足軟性產(chǎn)品處理需求。

低耗能、耗氣產(chǎn)品。

便捷的收放板方式。

真空系統(tǒng)集成,占地面積小。

合理的等離子反應(yīng)空間,使處理更均勻。

集成的控制系統(tǒng)設(shè)計(jì),使操作更方便。

2.4 產(chǎn)品規(guī)格

真空等離子主機(jī)

設(shè)備尺寸 1300x1350x1900mm

重量 500Kg 800KG

需求電源 AC380V,50/60Hz,5線,25A(總空開選型為C型以上)

等離子發(fā)生器規(guī)格

電源功率 射頻 中頻

0~1000W 0-2000W

電源頻率 13.56MHz 40 KHz

真空系統(tǒng)

真空泵 鮑斯雙級旋片泵(油泵):90m3/h+羅次泵

真空管路 全不銹鋼管路,以及高強(qiáng)度真空波紋管

材質(zhì) 鋁合金

厚度 25mm

密封性 軍工級焊接密封

腔體內(nèi)部尺寸 600×600×600mm(寬×高×深)

電極板有效尺寸 550×560mm(寬×深)

可用空間間距 28mm

電極板布置方式 水平電極板

工作托盤 標(biāo)配一套,材質(zhì)可選配(鋁材、鋼絲網(wǎng))

工作空間 9層 9層

工藝氣體

流量范圍 0~300SCCM

工藝氣體氣路 標(biāo)配兩路,可定制。工藝氣體管路為鐵氟龍材質(zhì)

控制系統(tǒng)

系統(tǒng)控制 PLC

交互方式 7寸觸控屏幕

 
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