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深圳銘凱盛電子設備有限公司
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| 真空等離子設備 真空等離子活化 真空等離子設備廠家 |
二、產品介紹
2.1 產品概述
MKS-VAC200 真空等離子清洗機(Plasma cleaner)，氣體通過激勵電源離化成等離子態，等離子體作用于產品表面，清洗產品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環保、高效、穩定的表面處理方式。
2.2 產品優勢
產品放置治具靈活多變，可適應不規則的產品。
水平電極設計，可滿足軟性產品處理需求。
低耗能、耗氣產品。
便捷的收放板方式。
真空系統集成，占地面積小。
合理的等離子反應空間，使處理更均勻。
集成的控制系統設計，使操作更方便。
2.4 產品規格
真空等離子主機
設備尺寸 1300x1350x1900mm
重量 500Kg 800KG
需求電源 AC380V，50/60Hz，5線，25A（總空開選型為C型以上）
等離子發生器規格
電源功率 射頻 中頻
0~1000W 0-2000W
電源頻率 13.56MHz 40 KHz
真空系統
真空泵 鮑斯雙級旋片泵（油泵）：90m3/h+羅次泵
真空管路 全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管
材質 鋁合金
厚度 25mm
密封性 軍工級焊接密封
腔體內部尺寸 600×600×600mm（寬×高×深）
電極板有效尺寸 550×560mm（寬×深）
可用空間間距 28mm
電極板布置方式 水平電極板
工作托盤 標配一套，材質可選配(鋁材、鋼絲網）
工作空間 9層 9層
工藝氣體
流量范圍 0~300SCCM
工藝氣體氣路 標配兩路，可定制。工藝氣體管路為鐵氟龍材質
控制系統
系統控制 PLC
交互方式 7寸觸控屏幕 |
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