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深圳銘凱盛電子設備有限公司
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| 真空等離子清洗機 等離子活化設備 表面活化設備 |
MKS-VAC100 真空等離子清洗機(Plasma cleaner)，氣體通過激勵電源離化成等離子態，等離子體作用于產品表面，清洗產品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環保、高效、穩定的表面處理方式。
2.2 產品優勢
產品放置治具靈活多變，可適應不規則的產品。
水平電極設計，可滿足軟性產品處理需求。
低耗能、耗氣產品。
便捷的收放板方式。
真空系統集成，占地面積小。
合理的等離子反應空間，使處理更均勻。
集成的控制系統設計，使操作更方便。
2.3 產品結構
真空等離子體表面處理系統主要包括三個部分：真空腔及真空系統，等離子體發生器，控制系統。
（A）真空腔及真空發生系統
真空腔固定于機柜框架內，左右兩側為可拆門，因此內部的真空腔及真空系統的維修是極方便的。真空發生系統由波紋管、KF接頭、真空泵以及油霧過濾器組成，核心部件真空泵（真空泵組）。
（B）等離子體發生器
等離子體發生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓，產生低溫等離子體。利用高頻轉換技術形成高頻電壓加到電極板上，當真空腔內達到一定真空度時，產生等離子體放電現象，放電后電路會自動調節電壓到適當值，保證電路正常穩定放電。
（C）控制系統
本系統使用MCGS觸摸屏、西門子PLC、中文界面。設備的工藝流程控制：真空泵啟動->擋板閥開啟->達到設定的真空度->通入工藝氣體->RF放電->工作時間到破真空->工作完成。設備分自動和手動兩種方式。
2.4 產品規格
真空等離子主機
設備尺寸 L900×W1500×H1750mm
重量 500Kg
需求電源 AC380V，50/60Hz，5線，25A（總空開選型為C型以上）
等離子發生器規格
電源功率 射頻 中頻
0~600W 0-1000W
電源頻率 13.56MHz 40 KHz
真空系統
真 |
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