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產品目錄

真空等離子清洗機 等離子活化設備 表面活化設備

詳細說明

    MKS-VAC100 真空等離子清洗機(Plasma cleaner),氣體通過激勵電源離化成等離子態,等離子體作用于產品表面,清洗產品表面污染物,提高表面活性,增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環保、高效、穩定的表面處理方式。



2.2 產品優勢

產品放置治具靈活多變,可適應不規則的產品。

水平電極設計,可滿足軟性產品處理需求。

低耗能、耗氣產品。

便捷的收放板方式。

真空系統集成,占地面積小。

合理的等離子反應空間,使處理更均勻。

集成的控制系統設計,使操作更方便。



2.3 產品結構

真空等離子體表面處理系統主要包括三個部分:真空腔及真空系統,等離子體發生器,控制系統。

(A)真空腔及真空發生系統

真空腔固定于機柜框架內,左右兩側為可拆門,因此內部的真空腔及真空系統的維修是極方便的。真空發生系統由波紋管、KF接頭、真空泵以及油霧過濾器組成,核心部件真空泵(真空泵組)。

(B)等離子體發生器

等離子體發生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓,產生低溫等離子體。利用高頻轉換技術形成高頻電壓加到電極板上,當真空腔內達到一定真空度時,產生等離子體放電現象,放電后電路會自動調節電壓到適當值,保證電路正常穩定放電。

(C)控制系統

本系統使用MCGS觸摸屏、西門子PLC、中文界面。設備的工藝流程控制:真空泵啟動->擋板閥開啟->達到設定的真空度->通入工藝氣體->RF放電->工作時間到破真空->工作完成。設備分自動和手動兩種方式。



2.4 產品規格

真空等離子主機

設備尺寸 L900×W1500×H1750mm

重量 500Kg

需求電源 AC380V,50/60Hz,5線,25A(總空開選型為C型以上)

等離子發生器規格

電源功率 射頻 中頻

0~600W 0-1000W

電源頻率 13.56MHz 40 KHz

真空系統


 
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