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掃描探針顯微鏡OLS4500

詳細說明

    OLS4500為您帶來*新的解決方案

實現納米級觀測的新型顯微鏡。不會丟失鎖定的目標。

電動物鏡轉換器切換倍率和觀察方法

配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡,并在電動物鏡轉換器上裝配了SPM單元。可以無縫切換倍率和觀察方法,不會丟失觀察對象。此外,該款顯微鏡可以進行納米級觀測。





主機 規格

LSM部分 光源、檢出系統 光源:405 nm半導體激光、檢出系統:光電倍增管

總倍率 108~17,280X

變焦 光學變焦:1~8X

測量 平面測量 重復性 100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm

正確性 測量值的±2%以內

高度測量 方式 物鏡轉換器上下驅動方式

行程 10mm

內置比例尺 0.8nm

移動分辨率 10nm

顯示分辨率 1nm

重復性 100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm

正確性 0.2+L/100 μm以下(L=測量長度)

彩色觀察部分 光源、檢出系統 光源:白色LED、檢出系統:1/1.8英寸200萬像素單片CCD

變焦 碼變焦:1~8X

物鏡轉換器 6孔電動物鏡轉換器

微分干涉單元 微分干涉滑片:U-DICR、內置偏振光片單元

物鏡 明視場平面半消色差透鏡5X LEXT專用平面復消色差透鏡20X、50X、100X

Z對焦部分行程 76 mm

XY載物臺 100 x 100 mm(電動載物臺)

SPM部分 運行模式 接觸模式、動態模式、相位模式、電流模式*、表面電位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)*

位移檢出系統 光杠桿法

光源 659 nm半導體激光

檢出設備 光電檢測器

*大掃描范圍 X-Y:*大 30 μm x 30 μm、Z:*大 4.6 μm

安裝微懸臂 在盒式微懸臂支架上一鍵安裝。使用微懸臂安裝位置調整專用工裝夾具預對位,更換支架時無需光學調整。

系統 總重量 約440 kg(不包含電腦桌)

I額定輸入 100-120 V/220-240 V、600 V

 
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