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上海伯東代理美國原裝進口 KRI 考夫曼離子源 KDC 10

詳細說明

    考夫曼離子源 KDC 10

KRI 考夫曼離子源 KDC 10

上海伯東代理美國原裝進口 KRI 考夫曼離子源 KDC 10: 考夫曼型離子源 Gridded 系列*小型號的離子源. 適用于集成在小型的真空設備中, 例如預清洗, 離子濺射, 離子蝕刻. 在 <1000eV 低能量, 通 Ar 氬氣時離子蝕刻的能力顯著提高.KDC 10 離子源低損傷, 寬束設計, 低成本等優點廣泛應用在顯微鏡領域, 標準配置下 KDC 10 離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 10mA.

考夫曼離子源 KDC10

KRI 考夫曼離子源 KDC 10 技術參數



型號



KDC 10



供電



DC magnetic confinement



- 陰極燈絲



1



- 陽極電壓



0-100V DC



- 柵極直徑



1cm



中和器



燈絲



電源控制



KSC 1202



配置



-



- 陰極中和器



Filament, Sidewinder Filament 或LFN 1000



- 架構



移動或快速法蘭



- 高度



4.5'



- 直徑



1.52'



- 離子束



集中

平行

散設



-加工材料



金屬

電介質

半導體



-工藝氣體



惰性

活性

混合



-安裝距離



2-12”



- 自動控制



控制4種氣體





KRI 考夫曼離子源 KDC 10 應用領域

離子清洗, 顯微鏡拋光 IBP

濺鍍和蒸發鍍膜 PC

輔助鍍膜(光學鍍膜) IBAD

表面改性, 激活 SM

離子濺射沉積和多層結構 IBSD

離子蝕刻 IBE



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