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Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-C

詳細說明

    上海伯東日本原裝進口適合中等規模量產使用的 Hakuto 離子刻蝕機, 樣品臺可選直接冷卻 / 間接冷卻





Hakuto 離子蝕刻機 IBE 主要優點:



1. 干式制程的微細加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導體元件, MR sensor 等領域的開發研究及量產得以廣泛應用.



2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什么材料都可以用來加工, 所以各種領域都可以被廣泛應用.



3. 配置使用美國考夫曼離子源



4. 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀.



5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環境下蝕刻.



6. 配置公轉自轉傳輸機構, 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.



7. 機臺設計使用自動化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產過程.











Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-C技術參數:



離子蝕刻機φ4 inch X 6片



基板尺寸



< Ф3 inch X 8片

< Ф4 inch X 6片

< Ф8 inch X 1片



NS 離子刻蝕機 可選



樣品臺



樣品臺可選直接冷卻 / 間接冷卻0-90度旋轉



離子源



20cm 考夫曼離子源



均勻性



±5% for 8”Ф



硅片刻蝕率



20 nm/min



溫度



<100









Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-C 組成:

NS 離子蝕刻機







Hakuto 離子蝕刻機通氬氣 Ar 不同材料的蝕刻速率:

NS離子蝕刻機











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