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產品目錄

氮化鉭靶材TaN磁控濺射靶材

詳細說明

    氮化鉭靶材TaN磁控濺射靶材電子束鍍膜蒸發料

產品介紹

氮化鉭(TaN)為黑色六方結晶或黃綠色結,不溶于水、酸。用來制造精確片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕;用作超硬質材料添加劑,可制備純的五氯化鉭:用于噴涂,增加變壓器、集成線路、二極管的電穩定性。

產品參數

中文名 氮化鉭 化學式 TaN

分子量 194.95 熔點 3090°C

密度 13.4g/cm3 純度99.99%

【關于我們】

服務項目:靶材成份比例、規格、純度均可按需定制。科研單位貨到付款,質量保證,售后無憂!

產品附件:發貨時產品附帶裝箱單/質檢單/產品為真空包裝

適用儀器:多種型號磁控濺射、熱蒸發、電子束蒸發設備 

質量控制:嚴格控制生產工藝,采用輝光放電質譜法GDMS或ICP光譜法等多種檢測手段,分析雜質元素含量保證材料的高純度與細小晶粒度;可提供質檢報告。 

加工流程:熔煉→提純→鍛造→機加工→檢測→包裝出庫

陶瓷化合物靶材本身質脆且導熱性差,連續長時間濺射易發生靶裂情況,綁定背靶后,可提高化合物靶材的導熱性能,提高靶材的使用壽命。我們強烈建議您,選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶!

我公司采用高純銦作為焊料,銦焊厚度約為0.2mm,高純無氧銅作為背靶。

注 :高純銦的熔點約為156℃,靶材工作溫度超過熔點會導致銦熔化!綁定背靶不影響靶材的正常使用!

建議:陶瓷脆性靶材、燒結靶材,高功率下濺射易碎,建議濺射功率不超過3W/cm2。

 
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