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產(chǎn)品目錄

氮化鉭靶材TaN磁控濺射靶材

詳細(xì)說明

    氮化鉭靶材TaN磁控濺射靶材電子束鍍膜蒸發(fā)料

產(chǎn)品介紹

氮化鉭(TaN)為黑色六方結(jié)晶或黃綠色結(jié),不溶于水、酸。用來制造精確片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕;用作超硬質(zhì)材料添加劑,可制備純的五氯化鉭:用于噴涂,增加變壓器、集成線路、二極管的電穩(wěn)定性。

產(chǎn)品參數(shù)

中文名 氮化鉭 化學(xué)式 TaN

分子量 194.95 熔點(diǎn) 3090°C

密度 13.4g/cm3 純度99.99%

【關(guān)于我們】

服務(wù)項(xiàng)目:靶材成份比例、規(guī)格、純度均可按需定制?蒲袉挝回浀礁犊,質(zhì)量保證,售后無憂!

產(chǎn)品附件:發(fā)貨時(shí)產(chǎn)品附帶裝箱單/質(zhì)檢單/產(chǎn)品為真空包裝

適用儀器:多種型號磁控濺射、熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)設(shè)備 

質(zhì)量控制:嚴(yán)格控制生產(chǎn)工藝,采用輝光放電質(zhì)譜法GDMS或ICP光譜法等多種檢測手段,分析雜質(zhì)元素含量保證材料的高純度與細(xì)小晶粒度;可提供質(zhì)檢報(bào)告。 

加工流程:熔煉→提純→鍛造→機(jī)加工→檢測→包裝出庫

陶瓷化合物靶材本身質(zhì)脆且導(dǎo)熱性差,連續(xù)長時(shí)間濺射易發(fā)生靶裂情況,綁定背靶后,可提高化合物靶材的導(dǎo)熱性能,提高靶材的使用壽命。我們強(qiáng)烈建議您,選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶!

我公司采用高純銦作為焊料,銦焊厚度約為0.2mm,高純無氧銅作為背靶。

注 :高純銦的熔點(diǎn)約為156℃,靶材工作溫度超過熔點(diǎn)會導(dǎo)致銦熔化!綁定背靶不影響靶材的正常使用!

建議:陶瓷脆性靶材、燒結(jié)靶材,高功率下濺射易碎,建議濺射功率不超過3W/cm2。

 
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