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蘇州深鉑維溫控設備有限公司
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tcwafer

詳細說明

    臺灣菘啟工業有限公司設計和制造溫度測量解決方案,保證為您提供靈敏度、快速響應和一致的精度。臺灣菘啟工業有限工公司致力于以世界*流的技術服務及時提供其創新的wafer晶圓解決方案。

TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器,可以實現晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器,可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布;同時,也可利用此傳感器來持續監控在熱處理工程中晶圓暫態溫度變化,例如:升溫,降溫過程及延遲周期等!(溫度的均勻與否,良率)

溫度范圍:

低溫:-150 to 700°C(硅基膠粘劑)

高度:-150 to 1,200°C(焊接設計)

熱電偶選型:

● Type K (精度級別±1.1°C or 0.4%) ,溫度范圍 -270 to 1,372°C

● Type N (精度級別±1.1°C or 0.4%), 溫度范圍 -270 to 1,300°C

● Type E (精度級別±1.0°C or 0.4%) ,溫度范圍 -270 to 1,000°C

● Type T (精度級別±0.5°C or 0.4%) ,溫度范圍 -270 to 400°C

● Type R/S (精度級別±1.5°C or 0.25%) ,溫度范圍 -50 to 1,768°C

晶圓材質:

硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的、涂層的或圖案基底。可按客戶要求定制基板、形狀和尺寸。

主要規格:

4寸,6寸,8寸,12寸

擴展線:可指定絕緣層材質,接頭類型。密封的聚酰亞胺扁平電纜,可在大氣中打到10-7托。長度有客戶指定

傳感器引線:長達40英尺–可定制,

被覆材質:石英 陶瓷纖維 TEF

絕緣材料:石英,聚四氟乙烯,二氧化硅,陶瓷,聚酰亞胺

線規:20 AWG – 40 AW

 
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