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蘇州深鉑維溫控設(shè)備有限公司
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詳細(xì)說(shuō)明

    臺(tái)灣菘啟工業(yè)有限公司設(shè)計(jì)和制造溫度測(cè)量解決方案,保證為您提供靈敏度、快速響應(yīng)和一致的精度。臺(tái)灣菘啟工業(yè)有限工公司致力于以世界*流的技術(shù)服務(wù)及時(shí)提供其創(chuàng)新的wafer晶圓解決方案。

TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器,可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測(cè)量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器,可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整天晶圓溫度分布;同時(shí),也可利用此傳感器來(lái)持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化,例如:升溫,降溫過(guò)程及延遲周期等!(溫度的均勻與否,良率)

溫度范圍:

低溫:-150 to 700°C(硅基膠粘劑)

高度:-150 to 1,200°C(焊接設(shè)計(jì))

熱電偶選型:

● Type K (精度級(jí)別±1.1°C or 0.4%) ,溫度范圍 -270 to 1,372°C

● Type N (精度級(jí)別±1.1°C or 0.4%), 溫度范圍 -270 to 1,300°C

● Type E (精度級(jí)別±1.0°C or 0.4%) ,溫度范圍 -270 to 1,000°C

● Type T (精度級(jí)別±0.5°C or 0.4%) ,溫度范圍 -270 to 400°C

● Type R/S (精度級(jí)別±1.5°C or 0.25%) ,溫度范圍 -50 to 1,768°C

晶圓材質(zhì):

硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的、涂層的或圖案基底。可按客戶要求定制基板、形狀和尺寸。

主要規(guī)格:

4寸,6寸,8寸,12寸

擴(kuò)展線:可指定絕緣層材質(zhì),接頭類型。密封的聚酰亞胺扁平電纜,可在大氣中打到10-7托。長(zhǎng)度有客戶指定

傳感器引線:長(zhǎng)達(dá)40英尺–可定制,

被覆材質(zhì):石英 陶瓷纖維 TEF

絕緣材料:石英,聚四氟乙烯,二氧化硅,陶瓷,聚酰亞胺

線規(guī):20 AWG – 40 AW

 
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