功能 氣體動態配氣儀
基本型號 MT系列
配比范圍 按需求定制
配氣不確定度（%） ±1 F.S
控制閥動作形式 長閉式
被稀釋氣體 C02 ,NO,S02,CO,H2S,02,CH4等各種帶酸性，堿性氣體.
配氣通道 二通道，三通道，四通道等，*高可達十幾種氣體配比
載氣 空氣，氮氣，氬氣等氣體
配氣流量 5SCCM-30SLM范圍可選,或更高
線性（%F.S） ±0.5
重復精度（%F.S） ±0.2
響應時間（sec） ≤1
設備輸出信號 RS232或RS485
電器接頭 DB15pin DB14pin DB9pin 接頭
工作環境 5-55(℃)
工作壓差 0.05-0.5MPA
漏率 1X10-7SCCMHe
*大耐壓 3MPA
介質接觸材質 304 316 316L
密封材料 氟橡膠，硅橡膠，丁晴橡膠，聚四氟乙烯，金屬密封性
接頭尺寸 Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,或φ3，φ6，φ8 φ10 φ12
電源要求 220V, 2A功能 氣體動態配氣儀
基本型號 MT系列
配比范圍 按需求定制
配氣不確定度（%） ±1 F.S
控制閥動作形式 長閉式
被稀釋氣體 C02 ,NO,S02,CO,H2S,02,CH4等各種帶酸性，堿性氣體.
配氣通道 二通道，三通道，四通道等，*高可達十幾種氣體配比
載氣 空氣，氮氣，氬氣等氣體
配氣流量 5SCCM-30SLM范圍可選,或更高
線性（%F.S） ±0.5
重復精度（%F.S） ±0.2
響應時間（sec） ≤1
設備輸出信號 RS232或RS485
電器接頭 DB15pin DB14pin DB9pin 接頭
工作環境 5-55(℃)
工作壓差 0.05-0.5MPA
漏率 1X10-7SCCMHe
*大耐壓 3MPA
介質接觸材質 304 316 316L
密封材料 氟橡膠，硅橡膠，丁晴橡膠，聚四氟乙烯，金屬密封性
接頭尺寸 Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,或φ3，φ6，φ8 φ10 φ12
電源要求 220V, 2A功能 氣體動態配氣儀
基本型號 MT系列
配比范圍 按需求定制
配氣不確定度（%） ±1 F.S
控制閥動作形式 長閉式
被稀釋氣體 C02 ,NO,S02,CO,H2S,02,CH4等各種帶酸性，堿性氣體.
配氣通道 二通道，三通道，四通道等，*高可達十幾種氣體配比
載氣 空氣，氮氣，氬氣等氣體
配氣流量 5SCCM-30SLM范圍可選,或更高
線性（%F.S） ±0.5
重復精度（%F.S） ±0.2
響應時間（sec） ≤1
設備輸出信號 RS232或RS485
電器接頭 DB15pin DB14pin DB9pin 接頭
工作環境 5-55(℃)
工作壓差 0.05-0.5MPA
漏率 1X10-7SCCMHe
*大耐壓 3MPA
介質接觸材質 304 316 316L
密封材料 氟橡膠，硅橡膠，丁晴橡膠，聚四氟乙烯，金屬密封性
接頭尺寸 Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,或φ3，φ6，φ8 φ10 φ12
電源要求 220V, |
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