概要:
MT-50A系列氣體質量流量控制器(Mass Flow Controllr ,簡稱MFC)利用溫差量熱法原理,可對氣體的質量流量精密測量和控制,用這種方法測出來的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響.
本產品采用中國人民共和國和電子行業標準SJ/T10583-94以及SJ37所規定的通用的技術條件和命名方法
特點:
模擬式熱質式流量計/流量控制器:
環境溫度補正
可應用的流率范圍廣:
0~30, 50, 100, 150, 200SLM
應用:
工業設施的氣體供應監測/控制。 氣體分析設備。
固定氣體流量控制。 氣體混合或分離設備
精度±2%F.S
可選用LF系列控制模塊,具有數位顯示、電源供應、流量設定等功能
國際兼容
標準:
MFC出廠長用(N2)標定質量流量的單位規定為SCCM(標準毫升/分)SLM(標準升/分)
標準狀態規定為:
標準溫度………………0℃(273.15K)
標準壓強………………101325Pa (760mmHg)F.S(Full Scale):滿量程 輸入輸出:
輸入設定電壓…………4~20MA 輸出電壓檢測…………4~20MA
供 電 要 求 …………24VDC
流量范圍是以mL/min,L/min 為單位
例:
5mL/min 表示為005
500mL/min表示為500
50 L/min(nor) 表示為50L
功能 流量計/控制器
基本型號 MT-50A
標準量程 SLM 0~ 50, 100, 150, 200,
精度 ±2%
控制閥動作型式 常閉式
線性(%F.S.) ±0.5~1(≤15SLM)
±2%(>15SLM.)
重復精度(%F.S.) ±0.2
響應時間(sec) ≤1
流量輸出信號 4-20MA
流量設定信號 4-20MA
電器接頭 DB15 pin(接頭)
工作環境溫度 (℃) 5~45
工作壓差 (MPa) 0.1~0.5
漏率 SCCSHe 1×10-8
******耐壓 3MPa
介質接觸材質 304,316,316L
密封材料 氟橡膠,硅橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯
接頭尺寸 VCR 1/4、1/2 8mm 、10mm、12mm
Swagelok1/8”、1/2”或φ12mm
電源要求 24VDC
功能 流量計/控制器
基本型號 MT-50A
標準量程 SLM 0~ 50, 100, 150, 200 |