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產(chǎn)品目錄

MT-50A型氣體質(zhì)量流量控制器

詳細(xì)說明

    概要:

MT-50A系列氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controllr ,簡(jiǎn)稱MFC)利用溫差量熱法原理,可對(duì)氣體的質(zhì)量流量精密測(cè)量和控制,用這種方法測(cè)出來(lái)的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響.

本產(chǎn)品采用中國(guó)人民共和國(guó)和電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用的技術(shù)條件和命名方法

 

特點(diǎn):

模擬式熱質(zhì)式流量計(jì)/流量控制器:

環(huán)境溫度補(bǔ)正

可應(yīng)用的流率范圍廣:

0~30, 50, 100, 150, 200SLM

  應(yīng)用:

工業(yè)設(shè)施的氣體供應(yīng)監(jiān)測(cè)/控制。  氣體分析設(shè)備。

固定氣體流量控制。       氣體混合或分離設(shè)備

精度±2%F.S

可選用LF系列控制模塊,具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能

國(guó)際兼容

 

標(biāo)準(zhǔn):

MFC出廠長(zhǎng)用(N2)標(biāo)定質(zhì)量流量的單位規(guī)定為SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:

標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)

標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa (760mmHg)F.S(Full Scale):滿量程 輸入輸出:

輸入設(shè)定電壓…………4~20MA     輸出電壓檢測(cè)…………4~20MA

供 電 要 求 …………24VDC

流量范圍是以mL/min,L/min 為單位

例:

5mL/min 表示為005

500mL/min表示為500

50 L/min(nor) 表示為50L

功能 流量計(jì)/控制器

基本型號(hào)  MT-50A

標(biāo)準(zhǔn)量程 SLM 0~ 50,  100,  150,  200,

精度 ±2%

控制閥動(dòng)作型式 常閉式

線性(%F.S.) ±0.5~1(≤15SLM)

±2%(>15SLM.)

重復(fù)精度(%F.S.) ±0.2

響應(yīng)時(shí)間(sec) ≤1

流量輸出信號(hào) 4-20MA

流量設(shè)定信號(hào) 4-20MA

電器接頭 DB15 pin(接頭)

工作環(huán)境溫度 (℃) 5~45

工作壓差 (MPa) 0.1~0.5

漏率 SCCSHe 1×10-8

******耐壓 3MPa

介質(zhì)接觸材質(zhì) 304,316,316L

密封材料 氟橡膠,硅橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯

接頭尺寸 VCR   1/4、1/2  8mm 、10mm、12mm

Swagelok1/8”、1/2”或φ12mm

電源要求 24VDC

功能 流量計(jì)/控制器

基本型號(hào)  MT-50A

標(biāo)準(zhǔn)量程 SLM 0~ 50,  100,  150,  200

 
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