電鏡能譜分析
掃描電子顯微鏡,又名SEM,掃描電鏡,是一種在真空下用電子束掃描樣品表面,逐點激發二次電子信號,根據信號強度組成形貌照片,做高倍率的表面外觀形貌觀察的儀器,檢測流程包括制樣、上機觀察拍照,*后提供外觀形貌照片等數據。
在半導體器件的失效分析中,可用二次電子像來觀察芯片表面金屬引線的短路、開路、電遷移、氧化層的針孔和受腐蝕的情況,還可用來觀察硅片的層錯、位錯和拋光情況及作為圖形線條的尺寸測量等。
EDS能譜儀,又名顯微電子探針,是一種分析物質元素的儀器,常與掃描電鏡或者透射電鏡聯用,在真空室下用電子束轟擊樣品表面,激發物質發射出特征x射線,根據特征x射線的波長,定性與半定量分析元素周期表中Be以上的物質元素,檢測流程包括電鏡樣品制備,上機操作分析,*后提供成份分析譜圖與半定量成份組成比等數據。
能譜儀除了分析速度快,可做定量計算外,還可以選擇不同的方式進行分析,即可選點、線及區域進行分析,還可做不同元素的面分布圖(mapping)。
主要用途:
1、外觀形貌觀察,放大1000倍到30萬倍率,尺寸測量等;
2、選定微小位置區域,探測元素成份與含量;3、是失效分析當中對于微小痕量金屬物質檢測的*重要的檢測手段。即可選點、線及區域進行分析,還可做不同元素的面分布圖。 |
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