上海茂竺（上海茂索）的特氣設(shè)備有特氣柜(Gas Cabinet或稱鋼瓶柜、氣瓶柜)，氣體流量控制箱(Gas Box by MFC),氣體配比箱(Gas Box by Flow Meter)，閥門箱（VMB）,閥門盤（VMP），氣體偵測器（Gas Detector），廢氣處理器(Scrubber)以及化學(xué)品供應(yīng)機(jī)臺（CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX）。
上海茂竺（上海茂索）公司還提供特氣設(shè)備的安裝服務(wù)、特氣系統(tǒng)的二次配管及化學(xué)品供應(yīng)機(jī)臺的安裝、化學(xué)品供應(yīng)管道的配管等高潔凈要求的業(yè)務(wù)。
從日本、歐美等發(fā)達(dá)國家進(jìn)口的電子級材料，如EP級 （BA級、AP級）不銹鋼管道（Tube，SS316L,SS316,SS304,或稱電子級管道、超高純管道），隔膜閥（Diaphragm Valve）, 減壓閥（Regulater，或稱調(diào)壓閥）,過濾器（filter，0.003μm），fitting（Gland ,Tee …）等等超高純特殊氣體系統(tǒng)中必需采用的各類零部件。英制尺寸標(biāo)準(zhǔn)。
公司標(biāo)簽：特氣，鋼瓶柜，閥門，電子級，電子特氣，隔膜閥，調(diào)壓閥，EP，BA，不銹鋼,潔凈管道，316L，304，過濾器，高壓金屬軟管，壓力表，鋼瓶接頭，真空系統(tǒng)，MOCVD，PECVD，鋼瓶柜，超高純，特殊氣體，太陽能電池，LED,SEMICON,半導(dǎo)體，
詳細(xì)規(guī)格可以來電/電郵咨詢。
公司介紹：上海茂竺（上海茂索）高端技術(shù)支持服務(wù)相輔并進(jìn)的快速發(fā)展模式。為半導(dǎo)體、醫(yī)藥及生物芯片等行業(yè)提供廠務(wù)所必需的材料部件（隔膜閥、EP（BA）管道等）以及特殊氣體設(shè)備[例如特氣柜(GAS CABINET) 、閥門箱（VMB）]。
上海茂竺（上海茂索）主要服務(wù)于以下行業(yè)：
高亮度發(fā)光二極管外延HB-LED： 主要工藝設(shè)備 MOCVD（AIXTRON,Thomas Swan，VECCO）
有機(jī)發(fā)光二極管OLED: PECVD, 濺射臺，蒸發(fā)臺OLED臺，OTFT臺，
太陽能電池：主要工藝設(shè)備 PECVD
硅外延：外延爐
微機(jī)電系統(tǒng)MEMS：主要工藝設(shè)備RIE，LPCVD，ICP，等離子清洗機(jī)，濺射機(jī)等
醫(yī)藥及生物芯片：
平面及等離子顯示器：
化工：
其他材料薄膜研究：主要工藝設(shè)備APCVD，LPCVD，MBE ，HVPE.
特氣設(shè)備及潔凈部件（特氣鋼瓶柜、閥門箱）主要用于控制超高純特殊氣體，電子特氣包括氫氣H2、氮?dú)釴2、氧氣O2、 氬氣Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、氨氣NH3、三氯一氫硅烷TCS、 氯氣CL2、氯化氫氣體HCL、三氯化硼B(yǎng)CL3、三甲基硼TMB、二氯二氫硅烷DCS等等多種氣體或液化氣體。 |
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