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羅茨真空機組的極限壓力與測量時使用的真空計種類有關。用壓縮式真空計測量時，極限壓力值比用熱傳導真空計（熱偶計或皮氏計等）測量的結果約低一個數量級。這是因為前者只能測得永久氣體的分壓，后者測得的是被壓氣體的全壓。我國現行規定使用壓縮式真空計來測量油封機械機組的極限壓力。機組循環油量也影響機組的極限壓力。隨著油量的增多，密封效果越好，機組的極限壓力與油量的關系發生變化，最終達到油的飽和蒸氣壓pgopg。而實際上機組油中含有大量的空氣和水分，機組油進入機組腔后，吸收在機組油中的空氣和水分又釋放出來，機組極限壓力與油量的關系向上發展。一般機組油應保持在指定油位上，使機組的循環油量保持一定。對于雙級機組，機組油要經過低真空級脫氣后才能進入高真空級，這樣可以減少機組油在高真空級中的放氣量，以降低機組的極限壓力。
羅茨真空機組的極限壓力與機組油的工作溫度有關。油溫越高，油的飽和蒸氣壓越高，機組的極限壓力也越高。
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