HORIBA質量流量計
SEC-Z512MGX質量流量計 EC-Z512MGX質量流量控制器
產 品 說 明
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于*大50slm N2 標稱流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于*大200slm N2 標稱流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet? 質量流量控制器, 適用于*大 50slm N2 標稱流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet?質量流量控制器, 適用于*大 200slm N2 標稱流量.
概要
質量流量計是半導體制造設備中非常關鍵的零部件。它的工作穩定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。
HORIBA STEC, 作為全球范圍內市場占有率超過35%*1的流量計生產商, 長期以來始終如一的為半導體工業提供高質量、多功能的產品。現在，手攜全新的技術，HORIBA STEC 正在向全球推廣新型的質量流量控制器： Z500系列。
相對于舊有的型號，Z500X 系列實現了全新的突破， 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的所有功能的同時, 實現了復合氣體、復合流量的轉換。客戶可以根據制程需要，輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。
此外，藉由產品材料的技術革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠色產品的設計要求，為客戶提升產品價值。
高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。全世界正見證著這一即將改變整個半導體工業的新型質量流量計的誕生。
*1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
*2 復合氣體、復合流量功能。
特征
高精度：設定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償的， 此技術保證在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發了標準的氣體測量系統， 并在大量實驗的基礎上，采集各種制程氣體的校準數據。
高速響應
SEC-Z500X 使用了*新開發的“可更改PID”系統，保證任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時，PID數據將進行自動的調整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數據也能夠自動優化，實現高速響應。
復合氣體、復合流量方案
HORIBA STEC 新產品讓客戶輕松地在現場更改氣體種類和流量成為現實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 更好的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統拆卸下來。 如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數量，同時節省了時間和成本。
無錫市三環儀器有限公司
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