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專業(yè)生產(chǎn)氧化擴散爐 專業(yè)生產(chǎn)氧化擴散爐_青島福潤德微電子設備有限公司_專業(yè)生產(chǎn)氧化擴散爐

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公 司: 青島福潤德微電子設備有限公司
發(fā)布時間:2023年01月07日
有 效 期:2023年07月09日
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公 司:青島福潤德微電子設備有限公司

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    擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè),對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。


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