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供應(yīng)LFIX-2000氣體混合配比儀 供應(yīng)LFIX-2000氣體混合配比儀_成都萊峰科技有限公司_供應(yīng)LFIX-2000氣體混合配比儀

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公 司: 成都萊峰科技有限公司
發(fā)布時間:2014年08月20日
有 效 期:2015年02月16日
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公 司:成都萊峰科技有限公司

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詳細(xì)說明

    氣體傳輸:2-8種氣體 , Swagelok卡套連接
氣體類型:30種
進(jìn)氣壓力:0.1-0.4MPA
控制閥動作型式:常閉式
響應(yīng)時間(sec):1S
工作壓差:0.05~0.5MPA
*大耐壓:3MPA
控制原理:質(zhì)量流量控制,每個出口單獨(dú)控制
流量:50SCCM,100SCCM,500SCCM可定做
采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理,可以對不同的氣體進(jìn)行流量量測及控制,并且不會受到溫度及壓力變化的影響
其他流速可選擇 ,其他氣體可選擇
準(zhǔn)確性: 優(yōu)于1%
數(shù)據(jù):輸出的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的質(zhì)量( 1個大氣壓,0度)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa

控制顯示方式:電腦操作
精確控制兩種不同氣體流量大小,使用其按不同比例(量)均勻混合,并精確控制混合氣體流量大小。
可通過電腦軟件控制及采集流量信號


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