長度計量室是東莞計量校準檢測機構(gòu)最早建立的實驗室之一，負責本行政區(qū)域內(nèi)幾何量的量值傳遞和建標工作，并提供各種長度計量儀器的檢定、校準、測試和維修服務。
橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學測量儀器。由于測量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種極具吸引力的測量儀器。新一代成像橢偏儀Nanofilm_EP4具有多種獨特功能，實現(xiàn)對超薄膜的實時可視化分析測試。你將實時看到樣品微觀尺度上的結(jié)構(gòu)。可以測量諸如薄膜厚度、折射率和吸收系數(shù)等參數(shù)。也可以對薄膜進行區(qū)域化（選區(qū)）分析，獲得所選區(qū)域的成像分析圖。還可以結(jié)合其他分析測試技術對樣品進行聯(lián)合分析從而從樣品中獲取更多的信息，聯(lián)用技術如原子力顯微鏡（AFM）、石英晶體微天平（QCMD）、反射光譜儀和拉曼光譜儀。成像橢偏儀Nanofilm_EP4是模塊化薄膜分析測試平臺，可根據(jù)您具體的應用方向進行差異化配置，從而實現(xiàn)不同的分析測試功能
技術優(yōu)勢：
最初，橢偏儀的工作波長多為單一波長或少數(shù)獨立的波長，最典型的是采用激光或?qū)﹄娀〉葟姽庾V光進行濾光產(chǎn)生的單色光源。現(xiàn)在大多數(shù)的橢偏儀在很寬的波長范圍內(nèi)以多波長工作（通常有幾百個波長，接近連續(xù)）。和單波長的橢偏儀相比，光譜型橢偏儀有下面的優(yōu)點：可以提升多層探測能力，可以測試物質(zhì)對不同波長光波的折射率等。
橢偏儀的光譜范圍在深紫外的142nm到紅外33um可選。光譜范圍的選擇取決于被測材料的屬性、薄膜厚度及關心的光譜段等因素。例如，摻雜濃度對材料紅外光學屬性有很大的影響，因此需要能測量紅外波段的橢偏儀；薄膜的厚度測量需要光能穿透這薄膜，到達基底，然后并被探測器檢測到，因此需要選用該待測材料透明或部分透明的光譜段；對于厚的薄膜選取長波長更有利于測量。 |
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