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作用編輯
控制產品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造。此空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。
4分類編輯亂流式 (Turbulent Flow)
空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA) 進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板
亂流式回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優點：構造簡單、系統建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。層流式(Laminar)
等級名稱
等級限值
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm
容積單位
容積單位
容積單位
容積單位
容積單位
國際單位
英制
單位
m
Ft
m
Ft
m
Ft
m
Ft
m
Ft
M1.0
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10
0 |
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