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全自動光學(xué)鍍膜設(shè)備可以實現(xiàn)參數(shù)錄入、過程監(jiān)控及數(shù)據(jù)存儲等功能，可設(shè)定工藝流程并自動執(zhí)行。可鍍制層數(shù)較多的短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質(zhì)膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜系，能夠?qū)崿F(xiàn)0-99層膜的膜系鍍膜，也能滿足如汽車反光玻璃、望遠鏡、眼鏡片、光學(xué)鏡頭、冷光杯等產(chǎn)品的鍍膜要求。配置不同的蒸發(fā)源、電子束和離子源及膜厚儀可鍍多種膜系，對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍，并可在玻璃表面超硬鍍膜。
設(shè)備名稱 光學(xué)鍍膜機
真空室 SUS304,
工件架轉(zhuǎn)速 10rpm to 30rpm(可變)
光學(xué)膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀
波長范圍：350nm to 1100nm
反射式或透射式
石英晶振膜厚計 XTC/3+6點式石英晶體傳感器
蒸發(fā)源 電子槍
離子源 23cmRF離子源
抽氣系統(tǒng) 機械泵，擴散泵或分子泵，羅茨泵等 |
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